Miihini Lithography Mask Tirohanga Whakaahua-Whakaahua Miihini
Whakataki hua
Ko te puna marama whakaatu ka mau mai i te LED UV kawemai me te waahanga hangai puna marama, he iti te wera me te pai o te puna marama.
Ko te hanganga rama hurihuri he pai te whakamaaramatanga o te wera me te tata o te puna marama, a he ngawari, he watea hoki te whakakapi me te tiaki rama mercury.Ka mau ki te karu karu karu karu teitei teitei me te 21 inihi te whanui mata LCD, ka taea te titiro ma te titiro.
kanohi kanohi ranei CCD + whakaatu, ki te tika tīaroaro tiketike, tukanga pūmanawa me te mahi watea.
Ngā āhuatanga
Ki te mahi tukatuka kongakonga
Whakataumata pēhanga whakapā whakarite tukuruatanga mā te pūoko
Ka taea te whakarite mariko te aputa tirohanga me te aputa whakakitenga
Ma te whakamahi i te rorohiko whakauru + mahi mata pa, ngawari me te watea, ataahua me te atawhai
Toia momo pereti ki runga me raro, ngawari me te waatea
Tautokohia te whakamaaramatanga whakapaa korehau, te whakamaaramatanga whakapaa pakeke, te pehanga whakapiri me te tata tata
Ki te mahi atanga nano imprint
Ko te whakaaturanga paparanga kotahi me te matua kotahi, teitei o te aunoatanga
He pai te pono o tenei miihini me te whakaaturanga watea, he pai rawa mo te whakaako, rangahauiao me nga wheketere i nga Kareti me nga whare wananga.
Ētahi atu kōrero
Whakatakotoranga
1. Rohe Whakaaturanga: 110mm × 110mm;
2. ★ Te roangaru Whakaaturanga: 365nm;
3. Whakatau: ≤ 1m;
4. Te tika o te whakatikatika: 0.8m;
5.Ko te awhe motini o te teepu matawai o te punaha whakatikatika me tutuki: Y: 10mm;
6. Ka taea e nga ngongo marama maui me te taha matau o te punaha whakatikatika te neke wehe i nga tohu X, y me Z, X ahunga: ± 5mm, Y ahunga: ± 5mm me Z ahunga: ± 5mm;
7. Rahi kanohi: 2.5 inihi, 3 inihi, 4 inihi, 5 inihi;
8. Tauira rahi: kongakonga, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ He pai mo te tauira matotoru: 0.5-6mm, ka taea te tautoko i nga waahanga tauira 20mm i te nuinga (kua whakaritea);
10. Aratau Whakaaturanga: taima (aratau tatau);
11. Kore orite o te rama: ＜ 2.5%;
12. Karukarupi whakatika CCD mara rua: topa arotahi (1-5 wa) + karu arotahi arotahi;
13. Ko te whiunga nekehanga o te kanohi kanohi e pa ana ki te tauira kia tutuki: X: 5mm;Y: 5mm;: 6º；
14. ★ Kiato Pungao Maranga: > 30MW / cm2,
15. ★ Ko te tūnga whakahāngai me te tūnga whakakitenga e mahi ana i roto i nga teihana e rua, a ka huri aunoa nga motuka servo teihana e rua;
16. Whakataumata pēhanga whakapā whakarite tukuruatanga i roto i pūoko;
17. ★ Ka taea te whakarite mariko te aputa tirohanga me te aputa whakakitenga;
18. ★ He atanga nano imprint me te atanga tata;
19. ★ Mahi mata pa;
20. Te rahinga katoa: Mo te 1400mm (roa) 900mm (whanui) 1500mm (teitei).
